Video: Cymer erklärt Plasma-Laser für EUV
Mike Lercel von Cymer erklärt, wie eine EUV-Lichtquelle funktioniert. Die Abkürzung steht für Extreme Ultraviolet Lithography. EUV ist eine der entscheidenden Grundlagentechnologien für die weitere Verkleinerung der Strukturen von Halbleitern.
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