Video: Cymer erklärt Plasma-Laser für EUV

Mike Lercel von Cymer erklärt, wie eine EUV-Lichtquelle funktioniert. Die Abkürzung steht für Extreme Ultraviolet Lithography. EUV ist eine der entscheidenden Grundlagentechnologien für die weitere Verkleinerung der Strukturen von Halbleitern.

Video veröffentlicht am
Cymer erklärt Plasma-Laser für EUV
Folgen Sie uns