18.10.2012 / 12:44

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Cymer erklärt Plasma-Laser für EUV

Mike Lercel von Cymer erklärt, wie eine EUV-Lichtquelle funktioniert. Die Abkürzung steht für Extreme Ultraviolet Lithography. EUV ist eine der entscheidenden Grundlagentechnologien für die weitere Verkleinerung der Strukturen von Halbleitern.

 

Video: Cymer erklärt Plasma-Laser für EUV (6:53)

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